多晶硅還原爐冷卻水管路中的的流量開關(guān)應(yīng)用

多晶硅還原爐冷卻對(duì)于現(xiàn)場(chǎng)安全至關(guān)重要，如不能及時(shí)對(duì)冷卻水進(jìn)行監(jiān)控，將引起氫氣泄漏，引起爆炸。熱式流量開關(guān)根據(jù)其產(chǎn)品特點(diǎn)——無可動(dòng)部件，全不銹鋼材質(zhì)，防護(hù)等級(jí)高可全面滿足化工行業(yè)尤其是在冷卻水或是潤(rùn)滑油路上，是大多數(shù)化工企業(yè)常用的開關(guān)類儀表！

多晶硅還原爐主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、混和氣進(jìn)氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進(jìn)水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進(jìn)水管、底盤冷卻水出水管、電極冷卻水進(jìn)水管、電極冷卻水出水管及其他附屬部件組成，爐體主體采用不銹鋼材質(zhì)。

熱式流量開關(guān)在多晶硅還原爐水冷卻中的應(yīng)用

還原爐里面是用純的氫氣以及三氯氫硅，在1100°條件左右進(jìn)行反應(yīng)，生成的硅沉積在硅棒表面，慢慢的生長(zhǎng)，一般都要72小時(shí)以上時(shí)間不間斷的供料供電。爐壁式夾層，用循環(huán)水進(jìn)行冷卻。

危險(xiǎn)系數(shù)極高，主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

1、冷卻水供應(yīng)不上燒壞爐壁，濺落爐內(nèi)造成爆炸；

2、電極和視鏡是整個(gè)還原爐最脆弱的地方，一定要保證冷卻水；

3、氫氣可能泄露，引起爆炸；

比利科技優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品-熱式流量開關(guān)

熱式流量開關(guān)工作原理：

基于熱式原理,在封閉的探頭內(nèi)包含兩個(gè)電阻，其中一個(gè)被加熱作為探測(cè)電阻，另一個(gè)未被加熱作為基準(zhǔn)電阻,當(dāng)有介質(zhì)流動(dòng)時(shí)，感熱傳感器所接收到的熱量將隨介質(zhì)的流速變化而變化，感熱傳感器將這溫差信號(hào)轉(zhuǎn)化成電信號(hào)，在流速達(dá)到某設(shè)定點(diǎn)時(shí)，熱式流量開關(guān)輸出開關(guān)量信號(hào)。

熱式流量開關(guān)原理圖

熱式流量開關(guān)特點(diǎn)：

無活動(dòng)部件，免維護(hù)。

安裝方便，一種型號(hào)適用于多種管徑要求。

開關(guān)量連續(xù)調(diào)節(jié)，極低的壓力損失。

結(jié)構(gòu)緊湊，LED顯示流動(dòng)趨勢(shì)及開關(guān)狀態(tài)。

熱式流量開關(guān)技術(shù)參數(shù)