熱式質量流量計基于熱擴散原理，其典型的傳感器元件包括兩個鉑熱電阻。當這兩個熱電阻放在流體中時，其中一個被加熱，另一個用來測量介質的溫度。兩個熱電阻之間的溫差與工藝流量和工藝機理的性質有關，根據(jù)測量方法的不同可分為恒溫差法和恒功率法。

熱式質量流量計是一種氣體測量儀器，具有諸多優(yōu)點和寬量程比。大口徑可做成球閥插入式，便于后續(xù)拆卸、組裝和維護，有多種供電方式，如24v或220v，底部管道局部表頭顯示，高空管道分體表頭顯示，但并不適合所有場合。

1.熱式質量流量計是根據(jù)熱擴散原理設計的。流量計的探頭加熱溫度根據(jù)測量的介質溫度確定。一般探頭加熱溫度比介質溫度高50度。可以看出，流量計在正常測量時要求被測介質溫度相對恒定，此時加熱電流與介質流量成正比;

2.熱式質量流量計可以測量幾乎所有的單一氣體介質，但實際測量中需要測量的混合氣體很多。此時，當選擇熱氣體質量流量計時，對混合氣體成分有要求。所有氣體流量計校準時，用空的作為被測介質，搜索單一介質即可得到標準換算系數(shù)。

3.壓力;不建議在高壓條件下使用熱氣體質量流量計。熱測量重要的一點是介質的熱容量。當場中壓力過高時，介質單位體積的載熱量非常大。在壓縮系數(shù)和反應速率的雙重影響下，流量計的測量值會小于實際使用。

4.溫度高;測量高溫介質意味著傳感器的溫度電阻較高，測量高溫介質時整個電路的功耗增加。目前，熱式質量流量計可以承受高達400度的高溫，能夠滿足大多數(shù)現(xiàn)場要求。但與孔板差壓流量計相比，耐高溫性能較差。